La sous-série 6M existe aux Archives de l'Essonne depuis 1988. Jusqu'à cette date, les listes nominatives des recensements de population étaient conservées à Versailles avec celles de l'ensemble des communes de l'ancienne Seine-et-Oise dans la sous-série 9M.

Dévolution des Archives départementales des Yvelines (1988).

Les listes nominatives des recensements de population des communes de l'actuelle Essonne, cotées depuis 1988 dans la sous-série 6M, étaient auparavant classées dans la sous-série 9M des Archives départementales des Yvelines (dont le répertoire numérique, publié en 1965, comporte une riche introduction rédigée par Jacques Dupâquier).
Les dossiers généraux relatifs à ces recensements ne pouvant être démembrés, ils sont restés dans la série M des Archives départementales des Yvelines.

 Si les listes nominatives sont dans leur ensemble complètes, on doit déplorer des lacunes pour certaines années :

• 1817 : les listes manquent pour les communes des arrondissements d'Etampes et de Rambouillet ;
• 1831 : les listes manquent pour les communes des arrondissements de Corbeil, Etampes et Rambouillet ;
• 1866 : les listes manquent pour les communes de l'arrondissement de Rambouillet (mais il existe néanmoins des statistiques récapitulatives) ;
• 1936 : les listes manquent pour 13 communes, parmi les plus importantes du départemen

La coupure de 1940 entre les archives modernes et contemporaines a été respectée : les listes nominatives de recensement dévolues par les Archives des Yvelines postérieures au 10 juillet 1940 ont été classées en série W (1175W).

1991, 2022